三維輪廓儀介紹-表面形貌-平面度共面型粗糙度的綜合參數(shù)測量：
德國進(jìn)口產(chǎn)品，F(xiàn)RT專業(yè)三維輪廓儀測量參數(shù)：
平面度、波面度，三維形貌，幾何尺寸，，共面性，粗糙度，多層膜厚測量等。
高精密測量，具體參數(shù)見下圖。