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白光干涉儀


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產(chǎn)品名稱: 白光干涉儀
產(chǎn)品型號(hào): FRT WLI
產(chǎn)品展商: 德國(guó)FRT公司
簡(jiǎn)單介紹
白光干涉儀采用白光干涉測(cè)量傳感器,其垂直分辨率可達(dá)0.1nm詳細(xì)技術(shù)參數(shù):測(cè)量原理:白光干涉測(cè)量;測(cè)量物鏡10X 20X 50X垂直測(cè)量范圍:100um(400um可選)垂直分辨率 0.1nm;X,Y測(cè)量范圍:1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm;工作距離:3.6mm 3.6mm 1.7mm側(cè)向分辨率2.5um 1.25um 0.5um 白光干涉儀

白光干涉儀

的詳細(xì)介紹

 白光干涉儀

白光干涉儀

詳細(xì)技術(shù)參數(shù):

測(cè)量原理                                                   白光干涉測(cè)量

測(cè)量物鏡                       10X                        20X                        50X

垂直測(cè)量范圍:                                 100um(400um可選)

垂直分辨率                                                 0.1nm

X,Y測(cè)量范圍:         1.6X1.2mm          0.8X0.6mm           0.32X0.24mm

工作距離:                  3.6mm                   3.6mm                   1.7mm

側(cè)向分辨率                    2.5um                 1.25um                     0.5um
白光干涉儀

 

 

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