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產(chǎn)品名稱:
白光干涉儀
產(chǎn)品型號(hào):
FRT WLI
產(chǎn)品展商:
德國(guó)FRT公司
簡(jiǎn)單介紹
白光干涉儀采用白光干涉測(cè)量傳感器,其垂直分辨率可達(dá)0.1nm詳細(xì)技術(shù)參數(shù):測(cè)量原理:白光干涉測(cè)量;測(cè)量物鏡10X 20X 50X垂直測(cè)量范圍:100um(400um可選)垂直分辨率 0.1nm;X,Y測(cè)量范圍:1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm;工作距離:3.6mm 3.6mm 1.7mm側(cè)向分辨率2.5um 1.25um 0.5um 白光干涉儀
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白光干涉儀
的詳細(xì)介紹 |
白光干涉儀
詳細(xì)技術(shù)參數(shù):
測(cè)量原理 白光干涉測(cè)量 測(cè)量物鏡 10X 20X 50X 垂直測(cè)量范圍: 100um(400um可選) 垂直分辨率 0.1nm X,Y測(cè)量范圍: 1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm 工作距離: 3.6mm 3.6mm 1.7mm 側(cè)向分辨率 2.5um 1.25um 0.5um 白光干涉儀
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