焦距（EFL）測量
EFL+/-
OptiSpheic
OptiSpheric L
OptiSpheric Autofocus
OptiSpheric L Autofocus
OptiSpheric 1000 Autofocus
標準測量范圍
+5 … +250mm
-5 … -250mm
+5 … +500mm
-5 … -450mm
-5 … -250m
+5 … +1000mm
-5 … -1000mm
擴展測量范圍
1 … 5mm
可達1000mm
可達2000mm
樣品直徑
1 … 35(75)mm
1 … 35(75/150)mm
1 … 75(150)mm
重復性
0.03 … 0.2%
測量精度
5 …25mm: 0.1 … 0.3%
25 … 500mm: 0.03% … 0.1%
500 … 1000mm: 0.05% … 0.3%
測量時間
手動聚焦：3 … 20秒
測量時間：鼠標點擊
**測量：5 … 8秒
后續測量： 3 … 5秒
軸上傳遞函數（MTF）測量
在軸MTF測量
測量范圍
**MTF測量： 5 … 75mm EFL
**MTF測量： 5 … 100mm EFL
測量模式
手動聚焦，自動測量
自動聚焦，自動測量
波長范圍
400 … 750(1000)nm
空間頻率
0 … 300(500)lp/mm
刀口分析
● 重復性
● 精 度
2%
3%
狹縫評價
1%
后截距（BFL）和曲率半徑測量
BFL/FFL
曲率半徑
+/-3…+/-250mm
+/-3…+/-400mm
+/-3…+/-200mm
+/-5…+/-500mm
0.05% … 0.3%
擴展型的技術參數：中心偏差測量
透射和反射法測量中心偏差
可擴展到+/-2000mm
+/- 0.1微米或者+/-1秒
+/- 0.2微米或者+/-2秒
3 … 15秒
角度測量
分辨率
0.01秒
0.2秒
1秒