PCB平面度翹曲度粗糙度測量儀OEC 上海
平面度、粗糙度、彎曲形變測量flatness,bow,warpageandroughness
面對的測量任務:
對于材料平面結構的研究要涉及
到相當多的參數需要測量。
首先，*為主要的參數應該是表面
粗糙度，也是*為常用的。
在表面測量的大量案例中，測量
平面參數時對應的粗糙度值都非常小，
通常測量值都是納米級或亞納米級。
材料表面測量的**個重要參數
是形狀的變化。
在我們服務的客戶中，有些材料
表面的彎曲形變度幾乎為零
也就是說，該客戶的材料表面具
有**別的平面度。
Figure 1: Warpage or fltness measurement of a 300 mm
wafer. Note, that the height is only some ten microns,
compared to the 300 mm area.12寸硅片平面度測量，僅10um彎曲
測量中存在的問題:
問題是，大多數表面測量儀器并
不能同時測量粗糙度和平面度。也不能
進行模式變換。
比如，有些平面度及曲面形狀
測量儀器測量300mm硅片時得到
的測量分辨率很低，它不可能對,
硅片的整個面型進行高分辨率的
形貌及高度輪廓測量。
如果要求這些儀器在小的波
形及頻率下得到**的平面度測量
值、同時測量出粗糙度值，也是無
法完成的。
我們的解決方案:
FRT 的解決方案是配置高分辨
率的Z方向光學測量傳感器，附X,Y
掃描臺，系統不但能整體測量平面
度，彎曲翹曲度，而且能同時完成
高分辨率的三維形貌局部測量。或
者以高分辨率測量整個樣品的側面
高度輪廓，這時，如果測量的分辨率
還不能滿足客戶的精度需求，FRT可
以在同一臺設備上再安裝AFM-原子
力顯微鏡，提供了在高分辨率前提下
**測量方式的切換。
Figure2:Ahighresolutionmeasurementwithinthewafer
Surface晶圓表面的高分辨率測量圖
FRT 光學傳感器能保證快速及**地
形貌測量，樣品的尺寸范圍較大，可
從200 μ x 200 μ至600mmx600mm
測量精度：XY方向分辨率為1-2um，
Z 軸范圍為 300um 到3 mm，同
時傳感器在Z方向上不做移動，分辨
*高可達3nm，系統可配置一臺定位
相機，其作用當作一臺光學顯微鏡
用于光學傳感器在測量時確定掃描
的位置及范圍。
Figure 3: 300 mm wafer flatness with profiles
12寸晶圓平面度帶側高信息
FRT 下面的儀器可以配置
原子力色差傳感器:
AFM/chromatic sensor
The MicroProf?in the 200 mm and 300 mm
version.
The MicroGlider? in all versions.
By deducting a reference plane a repro-
ducibility in height of better then 100 nm is
achieved for the whole measuring range of
350 mm x 350 mm.
使用FRT介紹的光學測量及定位
相機再配合原子力顯微鏡AFM，
這樣對于樣品每個點的測量都非
常迅速而且精準。
Figure 4: Profiles from figure 3 giving bow and warpage