半導(dǎo)體膜厚線寬引線高度測量儀YXY OEC 上海
TTV Pitch總厚度引腳高度Roughness粗糙度
Topography表面形貌 LineWidTh線寬
Trench劃槽 profiLe側(cè)高sTepheighT臺階高度 fiLmThickness膜厚 BoWWaRp 彎曲度
FRT經(jīng)歷十多年**,長期服務(wù)于工業(yè)制造領(lǐng)域高精密形貌測量系統(tǒng)可以進(jìn)行手動操作也可以完成全自動測量多傳感器多功能測量.
半導(dǎo)體 前后道 解決方案
電子制造業(yè)的發(fā)展趨向于更小型化，高集成度
尤其體現(xiàn)在半導(dǎo)體晶圓制造中
大型硅片上的電路結(jié)構(gòu)工藝日益復(fù)雜，在制造流
程中需要更細(xì)化的質(zhì)量加工控制
對于新的測量工具要不斷提升標(biāo)準(zhǔn)，除了要求測
量高精度和可重復(fù)性，同時要多功能化，綜合性測量
這些是適應(yīng)半導(dǎo)體技術(shù)快速發(fā)展的決定性因素。
